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發布時間:2019.12.24 新聞來源:石墨粉價格_超細石墨粉_膠體石墨_華泰石墨粉 瀏覽次數: | |||
單晶硅、高純鍺和集成電路等半導體器件生產的時候,為了防止金屬雜質污染半導體金屬,在生產中廣泛采用高純石墨做石墨舟、石墨發熱元件,以及大小不同的石墨燒結模等。半導體生產已成為如今高純石墨的大用戶。 半導體材料生產用高純石墨的生產工藝有擠壓、冷壓和等靜壓三種方法,可以根據實際情況使用。 一,擠壓成型的高純石墨粒度比常規石墨電極的粒度要細,但是比細結構石墨要粗,可以用來生產比較大的石墨件,比如加熱元件、石墨坩堝等。 二,細結構高純石墨是細結構石墨在石墨化時進行化學純化制得,對于加工精度要求高的石墨件,如集成電路燒結模,用細結構高純石墨加工棱、角、溝、槽都可以加工出來。 三,等靜壓高純石墨是用等靜壓工藝成型,質量均勻,是三種高純石墨中較好的,價格也是很貴的。 高純石墨在半導體材料中的應用是青島華泰石墨原創,未經允許,不得轉載,轉載須注明出處。 |